9512.net
甜梦文库
当前位置:首页 >> 信息与通信 >>

硅料性质及处理流程


硅料性质及处理流程
培训:刘德生 2010.3.25

主要内容
1. 硅的制备及性质 1.1 高纯硅的制备 1.2 硅的物理、化学性质

2. 硅原料分类及处理工艺流程

1.1.1 提取

SiO2 + 2C ? Si + 2CO ↑ SiO2 + SiC ? Si + SiO + CO

1.1.2 纯化 (分馏) Si + 3HCl ? SiH2Cl2 + H2 Si + 3HCl ? SiHCl3 + H2

1.2.1 硅的物理性质 1、密度:2.33 g/cm3 2、硬度值:6.5 3、晶体结构:面心立方 4、熔点: 1420 °C

硅的晶体结构 Crystal structure of the silicon

1.2.2 硅的化学性质

地壳含量 25.8%,原子量 28.086 价电子排布 3p2], 氧化价4。

[3s2

常温下,只与碱、氟化氢、氟气反应,不与硫酸、盐酸、 硝酸等反应。

反应方程式: Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑ Si+2F2=SiF4 3Si+4HNO3+18HF=3H2SiF6+4NO ↑+8H2O

2.1 硅原料分类 2.1.1 埚底料

(进口埚底料和自产埚底料)

2.1.2 复拉料

(进口复拉料,自产边角料,自产头尾料)

2.1.3 片料

(常规片料和非常规片料)

2.1.2 多晶料

(纯多晶,免洗多晶,铸锭多晶)

2.2 硅原料处理流程/Silicon 硅原料

treatment flow
型号分选

预清洗

电阻率分选

敲石英

打磨

浸泡

酸洗
包装

碱洗
袋装硅料

烘干

硅原料处理流程介绍

2.2.1 预清洗 1、目的:主要去除表面可见的油污、杂质。 . 2、所用试剂:洗洁精,丙酮。

2.2.2 型号分选 1、型号分五档(N型、P型、重掺、混合型、非常规) 2、探针握的手法:使用拿笔的手法 :

(型号分选仪)

(拿笔的手法)

2.2.3 电阻率分选

1、电阻率分档 (1)P型电阻率分为0.1-0.2Ω.cm,0.2-0.5Ω.cm,0.51.5Ω.cm,1.5-6Ω.cm,>6Ω.cm,五档
(2)N型和混合型电阻率分为1-2Ω.cm,2-4Ω.cm,48Ω.cm,>8Ω.cm四档 (3)P型电阻率<0.1Ω.cm和N型、混合型电阻率 <1Ω.cm列为重掺

2、使用的仪器及握探针的手法

(电阻率仪)

(拿笔的手法)

2.2.4 敲石英 1、穿好工作服,口罩,手套,平光眼镜,防止敲伤。 2、去石英时尽量避免把原料敲碎。

(带石英的埚底料)

( 敲石英)

2.2.5 打磨

1、穿好工作服,防酸手套,平光眼镜等防护用具。
2、把原料上面带有的杂质、石墨等磨去。

(打磨砂轮机)

( 打磨方式)

2.2.6 浸泡 1、 穿好防护用品 2、 把硅料倒入浸泡槽 3、 把酸倒入浸泡槽 4、 用胶带密封浸泡槽 5、 收集浸泡槽内的酸 6、 用水清洗硅料

2.2.7 酸洗/Acid cleaning 1穿好防护用品 2、 配置混合酸 3、 酸洗硅料 4一级冲洗硅料 5 超声波清洗硅料 6、二级冲洗硅料

2.2.8 碱洗/Alkali cleaning 1、把片料倒入碱洗桶 2、 配碱洗液 3、 碱液反应 沸腾 4、 一级清洗槽清洗 5 、盐酸浸泡 6、 纯水浸泡 7、 传递给烘干

2.2.9 烘干/Drying

1、 从传递窗接过原料

2、 纯水浸泡

3、 使用电导率测试

4 、装入不锈钢货车 5、 烘箱烘干

6、 烘完晾干

2.2.10 包装

1、把原料倒在挑选台上 封

2.、原料挑选

3、 称 重

4、 塑

包装注意事项: 把原料中的合格品挑选出来,放入合格品袋中。 把原料中的不合格品挑选出来,放入返洗袋中。 包装好的硅多晶标识明确。

流程讲解完毕! 谢谢观看!! Thanks for listening!



更多相关文章:
硅料性质及处理流程_图文.ppt
硅料性质及处理流程_信息与通信_工程科技_专业资料。硅料性质及处理流程培训:刘德
浅谈硅料清洗的步骤和方法.pdf
浅谈硅料清洗的步骤和方法_能源/化工_工程科技_专业资料。 您的评论 发布评论 用户评价 这篇文档有word格式吗?浅谈硅料清洗的步骤和方法 2018-06-24 15:11:...
硅料检验工作流程.doc
硅料检验工作流程 - 硅料检验工作流程 1 原片:检测表面一个点位,如表面脏污的测试一个断裂面一个表面 2 抛光片:检测正反面,正反面断裂面。但对特殊物料,...
硅料清洗_图文.doc
对于块状料,由于其形状不规则且处理过程互相堆叠,增加了清洗及干燥的难 度;对...(2)浸泡 根据硅材料的种类,有的材料表面有涂层,有的有石英玻璃,有的硅料表面...
硅料腐蚀流程图.doc
硅料腐蚀流程图 - 硅料腐蚀流程图 领料 直接酸洗硅料 需浸泡硅料 跟据不同硅料确定浸泡工艺 浸泡 浸泡 确定浸泡时间、工艺 碱洗 掌控碱腐蚀比例、时间 清洗 ...
异常处理流程_图文.xls
异常处理流程 - 上间异常处理流程 问题点 塑纸漏塑 原因分析 人:没有及
性质、制备及用途.doc
5 性质、制备及用途姓名:郑晓丽 化学化工学院 ...用盐酸来处理,将氧化镁转化为氟化镁: 2MgO + 4HCl...主要反应式为 SiO2+2C→Si+2CO 生产的工艺流程都...
硅料制备方法.ppt
不同的方向具有不同的性质,是一种良好的半导材料。...的熔点约为1450℃,拉晶过程始终保持在高温负压的...不当的设计、操作或管理均会造成严重的事故甚至灾害...
集成电路基本工艺流程简介.doc
晶圆处理制程 主要工作为在晶圆上制作电路与电子元件,是整个集成电路制造过程...SiO2 是一种十分 理想的电绝缘材料,它的化学性质非常稳定,室温下它只与氢氟酸...
判断及处理流程.pdf
判断及处理流程 - 400 多晶炉:熔料后期出现漏: 在有底部热电偶的情况
硅材料制备及工艺_图文.pdf
太阳能级硅材料加工工艺流程 1 1 2 1. 概述 1....在常温下它的化学性质稳定 硅是IV族元素,有4个价...因此,解决电的供应及合理电 价是保证该条生产线...
归类废硅料.doc
1)原生型废硅料处理:适当清洗、烘干即可。 2)成品型废硅片的处理:根据加工到不同工艺步骤的废料进行不同处理,通过一系列化学方 法(直接使用的成品型废硅整...
硅材料清洗流程PowerPoint 演示文稿_图文.ppt
硅材料清洗流程PowerPoint 演示文稿 - 培训指导 1、成品车间 2、半成品车间 3、包装车间 成品车间 一、药品及性质 氢氟酸(HF)为优级纯,浓度为>40%,塑料瓶装 ...
硅料清洗废气处理.doc
废气处理系统 一、废气的产生 1、硅料酸洗线 在清洗硅材料的工艺过程中,清洗...2、硅料浸泡线 浸泡工艺与酸洗工艺的酸性废气性质相类似,但由于浸泡工艺清洗液...
硅料、边皮料清洗培训.ppt
治疗: 不慎沾染用,“六氟灵”进行处理,并就医。 硝酸的基本特性: 理化性质:...硅料清洗工艺流程:上料 1#强酸腐蚀 6#纯水超声漂洗 7#溢流漂洗 下料 2#...
硅材料与加工_图文.ppt
处理 清洗 抛光 背面损伤 检验 包装 硅材料加工的基本流程示意 12.1切头去...化学性质及表 面形貌必须维持稳定,对材质的密度、表面 态、化学稳定性、压缩性...
硅材料加工_图文.ppt
外径滚磨 倒角 切片 磨定位标志 研磨 腐蚀 热处理 清洗 抛光 背面损伤 检验 包装 硅材料加工的基本流程...
硅料、边皮料清洗培训概述._图文.ppt
工艺流程 ?质量要求及注意事项 硅料、边皮料清洗工艺培训 硅料、边皮料清洗 ...治疗: 不慎沾染用,“六氟灵”进行处理,并就医。 硝酸的基本特性: 理化性质:...
硅片产品知识与生产工艺._图文.ppt
硅片产品知识生产工艺. - 硅片产品知识生产工艺 硅片生产流程 硅片厂主要生产流程:硅料多晶铸 锭、拉制单晶切片分选包装 ? 第一部分:多晶铸锭工段...
晶体的生产过程.doc
晶体的生产过程_能源/化工_工程科技_专业资料。单晶硅多晶硅生产过程一...集成电路的衬底材料, 将直接影响计算机的速度、成本,并决定计算机中央处理单元的...
更多相关标签:

All rights reserved Powered by 甜梦文库 9512.net

copyright ©right 2010-2021。
甜梦文库内容来自网络,如有侵犯请联系客服。zhit325@126.com|网站地图